目 錄

第1章 微細加工技術概述……………………………………………………………………1

1.1 微機械及微機電系統 ………………………………………………………………1

1.2 微細加工技術的概念及其特點 ……………………………………………………3

1.3 微細加工技術的分類 ………………………………………………………………5

1.4 微細加工技術的應用 ……………………………………………………………7

第2章 微機械與微細加工理論基礎 ……………………………………………………10

2.1 微機械學……………………………………………………………………………10

2.2 微電子學……………………………………………………………………………23

2.3 微光學……………………………………………………………………………26

2.4 分子裝配技術………………………………………………………………………28

2.5 微細加工機理總結…………………………………………………………………29

第3章 微細切削加工技術 …………………………………………………………………30

3.1 微細切削加工技術概述……………………………………………………………30

3.2 微細車削加工技術…………………………………………………………………37

3.3 微細銑削加工技術…………………………………………………………………40

3.4 微細鉆削加工技術…………………………………………………………………50

3.5 微細沖壓加工技術…………………………………………………………………56

3.6 微細磨削加工技術…………………………………………………………………60

3.7 微細磨料水射流加工技術…………………………………………………………64

第4章 微細電火花加工技術 ……………………………………………………………73

4.1 微細電火花加工技術概述與特點………………………………………………73

4.2 微細電火花加工關鍵技術…………………………………………………………75

4.3 微細電火花成形加工技術…………………………………………………………80

4.4 微細電火花銑削加工技術…………………………………………………………82

4.5 微細電火花線切割加工技術………………………………………………………85
4.6 微細電化學加工技術………………………………………………………………88
第5章 高能場微細加工技術 ………………………………………………………………96
5.1 概 述………………………………………………………………………………96
5.2 電子束微細加工技術………………………………………………………………96
5.3 離子束微細加工技術 …………………………………………………………105
5.4 超快激光束微細加工技術 ……………………………………………………114
5.5 超聲波微細加工技術 …………………………………………………………129
第6章 生長型微細加工技術………………………………………………………………135
6.1 概 述 ……………………………………………………………………………135
6.2 真空鍍膜技術 ……………………………………………………………………135
6.3 物理氣相沉積技術 ………………………………………………………………146
6.4 化學氣相沉積技術 ………………………………………………………………166
6.5 典型薄膜的制備 …………………………………………………………………174
6.6 電鍍技術 …………………………………………………………………………190
6.7 噴涂技術 …………………………………………………………………………197
6.8 微弧氧化技術 ……………………………………………………………………210
6.9 電火花沉積陶瓷層技術 ………………………………………………………217
第7章 硅微細加工技術……………………………………………………………………220
7.1 概 述 ………………………………………………………………………………220
7.2 光刻技術 …………………………………………………………………………221
7.3 硅摻雜技術 ………………………………………………………………………231
7.4 硅刻蝕技術 ………………………………………………………………………234
第8章 LIGA技術 ………………………………………………………………………239
8.1 LIGA技術概述……………………………………………………………………239
8.2 準LIGA技術概述 ……………………………………………………………240
8.3 LIGA技術的拓展………………………………………………………………241
8.4 LIGA技術在微細三維結構制造中的應用……………………………………247
第9章 納米壓印技術………………………………………………………………………252
9.1 納米壓印技術概述 …………………………………………………………………252

9.2 納米壓印關鍵工藝………………………………………………………………252
9.3 納米壓印技術分類 ………………………………………………………………257
第10章 自組裝加工技術 …………………………………………………………………264
10.1 自組裝加工技術概述…………………………………………………………264
10.2 自組裝的基本原理、分類及特點……………………………………………264
10.3 典型自組裝方法…………………………………………………………………266
10.4 典型自組裝微納結構……………………………………………………………271
第11章 掃描探針加工技術 ………………………………………………………………284
11.1 概 述……………………………………………………………………………284
11.2 掃描隧道顯微鏡…………………………………………………………………285
11.3 原子力顯微鏡………………………………………………………………287
11.4 AFM微納加工技術 …………………………………………………………288
參考文獻 …………………………………………………………………………………………294