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薄膜材料科學與技術(劉仲武 ) 版權信息
- ISBN：9787122456144
- 條形碼：9787122456144 ; 978-7-122-45614-4
- 裝幀：平裝
- 冊數：暫無
- 重量：暫無
- 所屬分類：>>
薄膜材料科學與技術(劉仲武 ) 內容簡介
《薄膜材料科學與技術》是教育部高等學校材料類專業教學指導委員會規劃教材，全面地介紹了薄膜材料的基本概念、薄膜制備技術、薄膜生長機理、薄膜加工技術以及薄膜分析技術。在簡要地闡述薄膜材料基本特點的基礎上，首先介紹了與薄膜表征和分析密切相關的真空技術和等離子體技術；詳細闡述了薄膜材料的制備方法，包括薄膜制備的液相方法、薄膜物理氣相沉積技術、薄膜的熱氧化與化學氣相沉積技術、薄膜旋涂和噴涂技術，涉及各種制備方法的基本原理、制備設備和制備工藝；分析了氣相沉積薄膜材料的生長機制、薄膜的生長過程及其影響因素，介紹了薄膜的外延生長技術；隨后進一步介紹了薄膜的微細加工技術，特別是薄膜刻蝕技術；*后，系統闡述了薄膜的表征和分析方法，包括薄膜的厚度控制與測量、成分表征、結構表征、原子化學鍵表征、表面形貌與微觀組織分析以及薄膜材料性能分析。 本書不僅具有一定的理論參考價值，也具有較為廣泛的應用參考價值，既可作為高等院校材料類及相關專業的本科生、研究生教學用書，也可作為薄膜材料專業科技人員的參考書。
薄膜材料科學與技術(劉仲武 ) 目錄
**章緒論**節薄膜的定義 2第二節薄膜的特點與結構 3一、薄膜材料的表面效應 3二、薄膜材料的納米效應 4三、薄膜材料的應力 5四、薄膜的結構 6五、薄膜中的缺陷 8六、薄膜的異常結構、非理想化學計量比和偽合金 10第三節薄膜制備方法 10第四節薄膜材料的應用 12本章小結 13思考題 14參考文獻 14**章緒論**節薄膜的定義 2第二節薄膜的特點與結構 3一、薄膜材料的表面效應 3二、薄膜材料的納米效應 4三、薄膜材料的應力 5四、薄膜的結構 6五、薄膜中的缺陷 8六、薄膜的異常結構、非理想化學計量比和偽合金 10第三節薄膜制備方法 10第四節薄膜材料的應用 12本章小結 13思考題 14參考文獻 14
第二章薄膜制備技術基礎**節真空的基本概念 15一、真空的描述 15二、氣體的吸附與脫附 16第二節抽真空與真空泵 18一、真空泵的分類與選擇 18二、真空泵的基本參數 20三、真空泵的類型 20第三節氣體分子的運動和氣體的流動 28一、氣體分子的平均自由程 28二、氣體與表面的碰撞 29三、氣體的流動狀態 31四、抽氣和抽氣方程 32第四節真空的測量 33一、真空計的分類 34二、熱傳導真空計 35三、電離真空計 37第五節等離子體技術基礎 38一、等離子體基本概念 38二、等離子體的基本參量 39三、等離子體的分類 42四、等離子體的產生 43五、等離子體的應用 47第六節薄膜液相沉積基礎 48一、液相法制備薄膜材料 48二、相變過程熱力學 49三、晶核形成條件 50四、相變過程動力學 51本章小結 53思考題 54參考文獻 54
第三章薄膜制備的液相方法**節電鍍 55一、電鍍的基本原理 55二、電鍍的工藝參數 56三、電鍍制備薄膜的應用 57第二節化學鍍 58一、化學鍍的基本原理 58二、化學鍍的工藝參數 62三、化學鍍制備薄膜的應用 64第三節陽極氧化 64一、陽極氧化的基本原理 64二、陽極氧化的工藝參數 66三、陽極氧化制備薄膜的應用 67第四節電泳 68一、電泳的基本原理 68二、電泳的工藝參數 69三、電泳制備薄膜的應用 70第五節溶膠凝膠法 71一、溶膠凝膠法的基本過程 71二、溶膠凝膠法的基本原理 72三、溶膠凝膠法的工藝參數 73四、溶膠凝膠法制備薄膜的應用 75第六節噴霧熱解法 75一、噴霧熱解法的基本過程 75二、噴霧熱解法的基本原理 76三、噴霧熱解法的工藝參數 78四、噴霧熱解法制備薄膜的應用 79本章小結 80思考題 81參考文獻 81
第四章薄膜物理氣相沉積技術**節物理氣相沉積簡介 83一、物理氣相沉積的基本過程與分類 83二、物理氣相沉積的特點 84三、物理氣相沉積技術的應用 84第二節真空蒸發沉積技術 85一、真空蒸發沉積的物理原理 85二、不同的真空蒸發沉積技術 91第三節濺射沉積技術 97一、濺射沉積基本原理 98二、不同的濺射沉積技術 103三、蒸發沉積和濺射沉積方法的比較 111第四節離子束輔助物理氣相沉積技術 111一、離子束濺射 112二、離子束沉積 112三、離子鍍 113四、陰極電弧等離子體沉積 120五、離子束輔助沉積 121本章小結 125思考題 126參考文獻 126
第五章薄膜的熱氧化與化學氣相沉積技術**節熱氧化生長 128一、熱氧化生長制備SiO2薄膜 128二、熱氧化生長制備Bi2O3薄膜 130三、熱氧化生長制備氧化物納米結構 130第二節化學氣相沉積技術基礎 131一、化學氣相沉積基本要求 131二、化學氣相沉積基本過程 132三、物質源 133四、化學氣相沉積反應類型 134五、化學氣相沉積裝置 137六、化學氣相沉積膜層質量的主要影響因素 139七、化學氣相沉積的特點與應用 141第三節常見的化學氣相沉積技術 142一、化學氣相沉積技術分類 143二、以反應室壓力分類的化學氣相沉積技術 144三、以反應溫度分類的化學氣相沉積技術 147四、以激活方式分類的化學氣相沉積技術 150五、金屬有機化合物化學氣相沉積技術 160本章小結 162思考題 162參考文獻 163
第六章薄膜旋涂和噴涂技術**節旋涂技術 164一、旋涂的基本過程 164二、旋涂的理論模型 165三、旋涂的分類 168四、旋涂技術的應用 169第二節熱噴涂技術 169一、熱噴涂的基本過程 170二、熱噴涂材料 172三、熱噴涂的分類 177四、熱噴涂技術的應用 187第三節冷噴涂技術 189一、 冷噴涂的基本過程 190二、冷噴涂的理論模型 190三、冷噴涂的工藝參數 191四、冷噴涂的分類 193五、冷噴涂技術的應用 194本章小結 196思考題 196參考文獻 197
第七章氣相沉積薄膜生長機制**節凝聚 199一、吸附 199二、表面擴散 206三、*終凝聚 208第二節薄膜的形核 210一、均勻形核理論 211二、原子聚集理論 214三、兩種成核理論的對比 217第三節薄膜的生長 218一、連續薄膜的形成過程 218二、沉積參數的影響 221三、薄膜生長模式 224四、薄膜中缺陷及內應力的產生 226五、薄膜形成過程的計算機模擬 230第四節薄膜的外延生長 232一、外延生長機理 233二、外延生長形式 235三、分子束外延 236四、液相外延 238五、熱壁外延 240六、金屬有機化合物化學氣相沉積外延生長 241七、離軸磁控濺射 242八、熱激光蒸發和脈沖激光沉積 242本章小結 243思考題 243參考文獻 244
第八章薄膜加工技術**節刻蝕的基本概念 246一、刻蝕的工藝過程 246二、刻蝕的主要工藝參數 248第二節濕法刻蝕 249一、濕法刻蝕的均勻性 249二、常用的濕法刻蝕技術 250三、濕法刻蝕的應用 253四、電化學刻蝕 253第三節干法刻蝕 254一、等離子體在刻蝕中的應用 255二、離子束濺射刻蝕 256三、反應離子刻蝕 260第四節飛秒激光燒蝕 267一、飛秒激光燒蝕的基本原理 267二、飛秒激光燒蝕加工系統 268三、飛秒激光燒蝕在薄膜加工中的應用 268第五節其它薄膜加工技術 269一、反應氣體刻蝕 269二、激發氣體刻蝕 270三、 激光誘導正向轉移技術 271本章小結 271思考題 272參考文獻 272
第九章薄膜的厚度和組織結構表征**節薄膜的厚度監測與測量 274一、薄膜的厚度監測 274二、薄膜的厚度測量 277第二節薄膜成分表征 281一、薄膜成分分析設備 281二、盧瑟福背散射分析 282三、電子顯微探針分析 285四、俄歇電子能譜 287五、X射線光電子能譜 289六、二次離子質譜 292第三節薄膜的結構表征 294一、衍射基礎 294二、掠入射X射線衍射 295三、低能電子衍射 297四、反射高能電子衍射 299五、透射電子顯微鏡 299第四節薄膜中原子化學鍵表征 300一、擴展X射線 301二、紅外吸收光譜 303三、拉曼光譜 305四、電子能量損失譜 305第五節薄膜表面形貌與微觀組織分析 307一、場離子顯微鏡 308二、掃描探針顯微鏡 309三、原子力顯微鏡 311本章小結 312思考題 313參考文獻 313
第十章薄膜材料性能分析**節薄膜應力表征 315一、直接測量法 316二、間接測量法 318第二節薄膜力學性能表征 320一、硬度 320二、斷裂韌性 325三、摩擦磨損 327四、界面結合強度 328第三節薄膜磁性能表征 330一、基本磁學參數測量 330二、磁疇結構表征 332第四節薄膜的電學性能表征 334一、電阻率和電導率 334二、磁電阻 336三、霍爾系數 337第五節薄膜光學性能表征 338一、透射率和反射率 338二、光吸收和散射 341三、相位特性 344四、光學常數 346本章小結 348思考題 348參考文獻 349
展開全部
薄膜材料科學與技術(劉仲武 ) 作者簡介
劉仲武 華南理工大學教授、博士生（碩士生）導師，新世紀優秀人才（2011），先進金屬與電磁材料研究團隊負責人。主要從事磁性材料、納米材料與先進金屬材料研究。目前是國際期刊J Surf Interf Mater編委、Material Science and Engineering with Advanced Research編委、《材料科學》編委，廣東省稀土材料標準化技術委員會和家電技術委員會委員、中國材料學會和中國電子學會高*級會員；廣東省青年科學家協會理事；廣東省材料研究學會理事；捷克、馬來西亞等多個國家境外評審專家； ISAM會議國際咨詢委員會委員。在Adv Mater、JACS、Appl Phys Lett、Acta Mater、Mater Design、J Appl Phys等國際和國內學術刊物上發表論文320多篇，SCI論文220多篇，申請和授權專利40多項。1998和1999年兩次獲中國航空工業總公司科技進步二等獎。2005年獲英國Daniel Doncastor Prize；2006年入選華南理工大學"興華人才"工程"百人計劃"；2008年入選廣東省"千百十工程"學術骨干；2011年入選"新世紀優秀人才"；2016年獲佛山市科技進步二等獎；2017年獲廣東省科技進步三等獎。
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